抽氣時(shí)間對(duì)于高真空系統(tǒng)的影響

設(shè)計(jì)高真空系統(tǒng)的基本考慮之一是將容器抽到給定壓強(qiáng)所需的時(shí)間。這個(gè)時(shí)間范圍通常是從幾分鐘到幾個(gè)小時(shí)。然而，在某些情況下，所需的抽氣時(shí)間可能是幾秒鐘或幾天。用理論方法或試驗(yàn)方法來預(yù)計(jì)時(shí)間和壓強(qiáng)的關(guān)系是非常困難的，因容器內(nèi)表面的放氣率(放氣或虛漏)不能確定，而抽氣時(shí)間和壓強(qiáng)是與放氣率有關(guān)的。

給定材料的放氣取決于溫度、表面光潔度、在此之前暴露于各種氣氛的情況以及清洗方法。當(dāng)放氣顯著時(shí)，即使近似估計(jì)排氣時(shí)間都可能是非常困難的。設(shè)計(jì)者用適于較高壓強(qiáng)下的關(guān)系式，可以預(yù)計(jì)從大氣壓到大約10-2Torr的壓強(qiáng)-時(shí)間曲線。根據(jù)穩(wěn)態(tài)(長時(shí)間)放氣數(shù)據(jù)及抽氣裝置的特性，有時(shí)可預(yù)計(jì)最終(極限)壓強(qiáng)。令人最感興趣的區(qū)域是從10-2Torr到極限壓強(qiáng)之間。