輔助真空系統

1、輔助真空系統的功用及組成

對于體積小、放氣速率和漏氣速率都小的被檢件可直接與檢漏儀的外接法蘭連接進行檢漏，無需輔助真空系統。對于漏氣速率和放氣速率較大或者體積較大的被檢件，若直接與檢漏儀相連接時，檢漏儀的真空度可能抽不上去，使檢漏儀無法工作。要在此種情況下進行檢漏，只有調節節流閥，使之稍稍開啟，但這又會使反應時間加長。此外，被檢件初次抽真空時，其中的水氣、油蒸氣等都可能污染檢漏儀，因此也需要有輔助真空系統。輔助系統由前級泵、次級泵、閥門、真空規及標準漏孔等組成，如圖1所示。次級泵可用擴散泵或羅茨泵(是否需要次級泵視具體情況而定)，前級泵最好用氣鎮式機械泵。

有些檢漏儀本身帶有一系列閥門，借助于這些閥門便可用檢漏儀的抽氣系統對小型的、放氣與漏氣都不大的被檢件完成預抽和檢漏工作，而不需另加輔助抽氣系統。但是，從保持檢漏儀靈敏度的穩定性的觀點來看，最好不要用儀器本身的真空泵進行預抽。國外有些檢漏儀附有一個輔助抽氣系統，使用時較為方便。

2.檢漏儀在輔助系統中的位置

檢漏儀與輔助系統的連接方式有兩種情況，兩種方式的特點各不相同。在對清潔的沒有大漏的容器進行檢漏時，檢漏儀應接在前級(低真空)一側;反之，對于被污染了的容器，要在有大漏的悄況下找出小漏時，檢漏儀應處于高真空一側。連接檢漏儀的位置應該是使儀器和被檢件之間的流導為最大，使進人檢漏儀中的氮濃度較高。

檢漏儀接在前級一側時，前級泵抽速的不穩定會使儀器噪聲加大并使檢漏靈敏度有所降低，為此最好在前級加一個穩壓瓶，或者再串接一個擴散泵。

在設計輔助系統時，應在高真空一側與低真空一側都留有連接檢漏儀的法蘭。